程秀蘭 上海交通大學(xué)/研究員博導(dǎo)高校職稱(chēng)：博士，博導(dǎo)，研究員（微電子學(xué)與固體電子學(xué)），平臺(tái)主任。從業(yè)經(jīng)歷：主要研究先進(jìn)微納加工技術(shù)，薄膜鈮酸鋰光電子器件，基于氮化硅平臺(tái)的無(wú)源器件開(kāi)發(fā)與研究，硅基光探測(cè)器、調(diào)制器等有源器件制備與研究，高階衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)與加工，CMOS集成電路130nm工藝開(kāi)發(fā)等。長(zhǎng)期從事本科及研究生專(zhuān)業(yè)課程教學(xué)工作。先后曾在鐵道部戚墅堰機(jī)車(chē)車(chē)輛工藝研究所、上海貝嶺股份有限公司、中芯國(guó)際集成電路制造有限公司（SMIC）邏輯技術(shù)發(fā)展與制造中心工作，從事技術(shù)研發(fā)工作。個(gè)人特色：曾承擔(dān)863、02專(zhuān)項(xiàng)等多個(gè)國(guó)家重大科研項(xiàng)目子項(xiàng)目的研究。 20092010年先后至美國(guó)University of Arkansas （UARK）及University of California at Berkely (UC Berkeley) 訪問(wèn)研究，分別從事納米孔DNA/生物大分子檢測(cè)、片上集成納米級(jí)單生物分子檢測(cè)應(yīng)用的表面等離子體波傳感器等方面的研究。 部分課程《半導(dǎo)體物理與器件》《半導(dǎo)體器件原理》《先進(jìn)微納加工技術(shù)與應(yīng)用》《集成電路制造技術(shù)》《半導(dǎo)體集成電路制造理論》《微電子材料與器件...詳細(xì)>>

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